Вафельге арналған тегістеу дөңгелектері

Вафлиге арналған тегістеу дөңгелектерін қолдану: дискретті құрылғыларды өрескел және жұқа ұнтақтау, интегралды схемалық субстрат кремний пластиналары, сапфир эпитаксиалды пластиналар, кремний пластиналары, GaAs, GaN, кремний карбиді, литий танталат және т.б.