Кремний карбидті вафли жұқарту машинасы негізінен кремний пластинасы, галлий арсениді, кремний карбиді керамика, цирконий керамика, графит, литий танталат және т.б. сияқты субстрат материалдарын жұқарту үшін қолданылады.
Жоғары дәлдіктегі тік пластинаны тегістеу машиналары SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO сияқты үшінші буын жартылай өткізгіш материалдарды ұнтақтай алады. DL-GSD сериясы - бұл Қытайдағы өздігінен жасалған тегістеу машинасы және оның өнімділігі әлемдік стандартқа жетті.